Product was successfully added to your shopping cart.

EL-FLOW Metal Sealed F-111CM Đồng hồ đo lưu lượng khí kín bằng kim loại Bronkhorst Vietnam

0 Review(s)

Quick Overview

Model: F-111CM
Xuất xứ: Hà Lan
Nhà cung cấp: STC Việt Nam
Hãng sản xuất: Bronkhorst

Tình trạng: Có sẵn

Special Price Liên Hệ: 0918 364 352

Liên hệ Tư vấn

Mr Duy
0918 364 352

Qty:

Chi tiết

Đồng hồ đo lưu lượng khí kín bằng kim loại

Giới Thiệu

Đồng hồ đo lưu lượng khối (MFM) Bronkhorst ® model F-111CM được thiết kế đặc biệt để đáp ứng các yêu cầu của thị trường bán dẫn cũng như các ứng dụng khí có độ tinh khiết cao khác. Các thiết bị có chất lượng bề mặt cao và được chế tạo theo dạng mô-đun với các miếng đệm kim loại-kim loại đảm bảo độ kín rò rỉ lâu dài. F-111CM phù hợp để đo chính xác các dải lưu lượng từ 0,12…6 sccm đến 1…50 slm (dựa trên N 2 ) ở áp suất vận hành giữa chân không và 1500 psig (100 bar). Dòng

EL-FLOW ® Metal Sealed được trang bị bo mạch máy tính kỹ thuật số, cung cấp độ chính xác cao, độ ổn định nhiệt độ tuyệt vời và phản hồi nhanh. Bo mạch máy tính kỹ thuật số chính chứa tất cả các chức năng chung cần thiết để đo lường và kiểm soát. Ngoài đầu ra RS232 tiêu chuẩn, các thiết bị còn cung cấp I/O tương tự. Tùy chọn, có thể lắp giao diện trên bo mạch để cung cấp các giao thức CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII hoặc TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK hoặc FLOW-BUS. Thiết kế EL-FLOW ® Metal Sealed có chức năng Multi Gas / Multi Range tùy chọn, cung cấp cho khách hàng (OEM-) tính linh hoạt và hiệu quả quy trình tối ưu.

Thông số kỹ thuật

Hệ thống đo lường / kiểm soát
Phạm vi lưu lượng (có sẵn phạm vi trung gian)	tối thiểu 0,12…6 ml _n /phút tối đa 1…50 l _n /phút (dựa trên N ₂ )
Độ chính xác (bao gồm cả tính tuyến tính) (dựa trên hiệu chuẩn thực tế)	±0,5% Rd cộng với ±0,1% FS
Khả năng lặp lại	< 0,2 % RD
Tỷ lệ giảm giá	1:150 (1:50 ở chế độ tương tự)
Áp suất vận hành tối đa	1500 psig (áp suất 100 bar)
Khả năng đa chất lỏng	lưu trữ tối đa 8 đường cong hiệu chuẩn; chức năng Đa khí / Đa dải tùy chọn lên đến 10 bar abs
Nhiệt độ hoạt động	-10…+70 °C
Lắp ráp	bất kỳ vị trí nào, thái độ nhạy cảm không đáng kể
Độ nhạy nhiệt độ	không: < 0,05% FS/°C; khoảng: < 0,05% Rd/°C
Độ nhạy áp suất	< 0,1% Rd/bar điển hình N ₂ ; < 0,01% Rd/bar H ₂
Tính toàn vẹn rò rỉ, bên ngoài	< 2 x 10-11 ^Pa.m 3 ^/ s He
Thời gian khởi động	30 phút để có độ chính xác tối ưu 2 phút để có độ chính xác ± 2% FS

Các bộ phận cơ khí
Vật liệu (phần ướt)	thép không gỉ 316L hoặc tương đương
Kết nối quy trình	1/4” mặt phớt nam
Hải cẩu	Phớt ngoài: kim loại với kim loại (không có vòng); Phớt trong: Kalrez 6375
Cân nặng	0,6kg
Bảo vệ chống xâm nhập	IP40

Tính chất điện

Nguồn điện

+ 15 … 24 Vdc

Tiêu thụ điện năng tối đa

Cung cấp
15 V
24 V

ở điện áp I/O
95 mA
65 mA

tại I/O hiện tại
125 mA
85 mA

thêm cho fieldbus
<75 mA
<50 mA

Đầu ra tương tự

0…5 (10) Vdc hoặc 0 (4)…20 mA (nguồn đầu ra)

Truyền thông số

tiêu chuẩn: RS232;
tùy chọn: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII hoặc TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS

Kết nối điện
Tương tự/RS232	Đầu nối D 9 chân (đực);
PROFIBUS DP	bus: đầu nối D 9 chân (cái); nguồn: đầu nối D 9 chân (đực);
CANopen® / DeviceNet™	Đầu nối M12 5 chân (đực);
Dòng chảy-BUS/Modbus-RTU/ASCII	Giắc cắm mô-đun RJ45
Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK	2 x giắc cắm mô-đun RJ45 (vào/ra);
EtherCAT®/PROFINET	2 x giắc cắm mô-đun RJ45 (vào/ra)