LIÊN HỆ
0918 364 352
Giỏ hàng0Item(s)

You have no items in your shopping cart.

Product was successfully added to your shopping cart.

EL-FLOW Metal Sealed F-201CM Bộ điều khiển lưu lượng khối kín bằng kim loại cho khí Bronkhorst Vietnam

Quick Overview

  1. Model: F-201CM
  2. Xuất xứ: Hà Lan
  3. Nhà cung cấp: STC Việt Nam
  4. Hãng sản xuất: Bronkhorst

Tình trạng: Có sẵn

Special Price Liên Hệ: 0918 364 352

Liên hệ Tư vấn

Chi tiết

Bộ điều khiển lưu lượng khí kín bằng kim loại

Giới Thiệu

Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC) Bronkhorst ® model F-201CM được thiết kế đặc biệt để đáp ứng các yêu cầu của thị trường bán dẫn cũng như các ứng dụng khí có độ tinh khiết cao khác. Các thiết bị có chất lượng bề mặt cao và được chế tạo theo dạng mô-đun với các miếng đệm kim loại-kim loại đảm bảo độ kín rò rỉ lâu dài. F-201CM phù hợp để đo lường và kiểm soát chính xác các dải lưu lượng từ 0,12…6 sccm đến 1…50 slm (dựa trên N 2 ) ở áp suất vận hành giữa chân không và 1000 psig (64 bar). Dòng

EL-FLOW ® Metal Sealed được trang bị bo mạch chủ kỹ thuật số, cung cấp độ chính xác cao, độ ổn định nhiệt độ tuyệt vời và phản hồi nhanh. Bo mạch chủ kỹ thuật số chính chứa tất cả các chức năng chung cần thiết để đo lường và kiểm soát. Ngoài đầu ra RS232 tiêu chuẩn, các thiết bị còn cung cấp I/O tương tự. Tùy chọn, có thể lắp giao diện trên bo mạch để cung cấp các giao thức CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII hoặc TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK hoặc FLOW-BUS. Thiết kế EL-FLOW ® Metal Sealed có chức năng Multi Gas / Multi Range tùy chọn, cung cấp cho khách hàng (OEM-) tính linh hoạt và hiệu quả quy trình tối ưu.

Thông số kỹ thuật

Hệ thống đo lường / kiểm soát

Phạm vi lưu lượng (có sẵn phạm vi trung gian) phút. Tối đa 0,12…6 ml n / phút
. 1…50 l n / phút
Độ chính xác (bao gồm cả tính tuyến tính) (dựa trên hiệu chuẩn thực tế) ±0,5% Rd cộng với ±0,1% FS
Khả năng lặp lại < 0,2 % RD
Tỷ lệ giảm giá 1:150 (1:50 ở chế độ tương tự)
Áp suất vận hành tối đa 1000 psig (64 bar)
Khả năng đa chất lỏng lưu trữ tối đa 8 đường cong hiệu chuẩn;
chức năng Đa khí / Đa dải tùy chọn lên đến 10 bar abs
Thời gian ổn định (trong tầm kiểm soát, điển hình) 1 giây thông thường trên 5% FS;
tùy chọn: xuống tới 600 msec
Kiểm soát sự ổn định ± 0,05% FS (điển hình cho 1 slm N 2 )
Nhiệt độ hoạt động -10…+70°C (Van Viton hoặc EPDM);
0…70°C (Van NC với van Kalrez 6375);
0…50°C (Van NO với van Kalrez 6375)
Lắp ráp bất kỳ vị trí nào, thái độ nhạy cảm không đáng kể
Độ nhạy nhiệt độ không: < 0,05% FS/°C; khoảng: < 0,05% Rd/°C
Độ nhạy áp suất < 0,1% Rd/bar điển hình N 2 ;
< 0,01% Rd/bar H 2
Tính toàn vẹn rò rỉ, bên ngoài < 2 x 10-11 Pa.m 3 / s He
Rò rỉ qua van đóng < 10-5 Pa.m3/s He (kim loại kín)
Thời gian khởi động 30 phút để có độ chính xác tối ưu
2 phút để có độ chính xác ± 2% FS

Các bộ phận cơ khí

Vật liệu (phần ướt) thép không gỉ 316L hoặc tương đương
Kết nối quy trình 1/4” mặt phớt nam
Hải cẩu Phớt ngoài: kim loại với kim loại (không có vòng);
Phớt trong/ghế van: Kalrez® (FFKM); tùy chọn: Viton®
Cân nặng 0,7kg​
Bảo vệ chống xâm nhập IP40

Tính chất điện

Nguồn điện + 15 … 24 Vdc
Tiêu thụ điện năng tối đa
Cung cấp
15 V
24 V
ở điện áp I/O
290 mA
200 mA
tại I/O hiện tại
320 mA
215 mA
thêm cho fieldbus
<75 mA
<50 mA
Đầu ra tương tự 0…5 (10) Vdc hoặc 0 (4)…20 mA (nguồn đầu ra)
Truyền thông số tiêu chuẩn: RS232;
tùy chọn: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII hoặc TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS

Kết nối điện

Tương tự/RS232 Đầu nối D 9 chân (đực);
PROFIBUS DP bus: đầu nối D 9 chân (cái);
nguồn: đầu nối D 9 chân (đực);
CANopen® / DeviceNet™ Đầu nối M12 5 chân (đực);
Dòng chảy-BUS/Modbus-RTU/ASCII Giắc cắm mô-đun RJ45
Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK 2 x giắc cắm mô-đun RJ45 (vào/ra);
EtherCAT®/PROFINET 2 x giắc cắm mô-đun RJ45 (vào/ra)

Chi tiết

Product Tags

Đo Lưu Lượng-Tốc độ không khí;

Sản phẩm Liên quan