Bộ điều khiển lưu lượng nhiệt cho các ứng dụng khí ăn mòn hoặc giảm áp suất thấp

Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC) Bronkhorst ^® model F-200DV phù hợp để đo chính xác các dải lưu lượng từ 0,2…10 ml _n / phút đến 0,4…20 ml _n / phút (tương đương N ₂ ). Các thiết bị này đặc biệt phù hợp với khí ăn mòn hoặc các ứng dụng có chênh lệch áp suất rất thấp (∆P). So với các thiết bị thông thường, MFC LƯU LƯỢNG THẤP ∆P có kênh lưu lượng lớn hơn để giảm thiểu nguy cơ tắc nghẽn, tạo điều kiện vệ sinh và xả sạch, và gây ra độ sụt áp thấp hơn (cảm biến chỉ yêu cầu 0,5 đến 5 mbar).

Bo mạch chủ kỹ thuật số tích hợp cung cấp chuyển đổi tín hiệu và bus trường cũng như chức năng bộ điều khiển PID để kiểm soát lưu lượng khối thông qua van điều khiển tích hợp. Ngoài đầu ra RS232 tiêu chuẩn, các thiết bị này còn cung cấp I/O tương tự. Tùy chọn khác, có thể lắp thêm giao diện tích hợp để cung cấp các giao thức CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII hoặc TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK hoặc FLOW-BUS.